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二氧化钒(VO)

文章来源:365bet足球盘口  文章作者:365bet官网网址  发表时间:2019-06-03  浏览次数: 人次

科技大学
二氧化钒基中红外等离子体天线调谐特性研究
二氧化钒是具有相变特性的过渡金属氧化物,其可以经历从高温金属相和低温半导体相的可逆转变至68℃的相变温度。电气和光学特性的巨大变化
基于其优异的相变特性,二氧化钒在微电子,光电子和传感器方面具有广阔的前景。
近年来,中红外光波(3μm至30μm电磁波)在军事和民用领域中具有很大的应用价值,并且越来越受到关注。
利用电子控制的钒相变来实现中红外光学响应的??动态调制,对于推进中红外技术的实际应用具有重要意义。
在该文献中,使用二氧化钒作为功能相变材料设计和制造中红外可调谐等离子体天线装置。二氧化钒相变的相变机制由两种不同的方法激发,即热和电。
该器件是基于硅晶片的多层膜结构。
首先,通过电子束蒸发(EBE)将300nm的铜膜作为反射层放置在硅衬底上,然后将100nm的氧化硅膜作为铜层放置在铜膜上。通过在二氧化硅膜上放置250nm的二氧化钒膜并最后使用湿法光进行磁控反应喷涂法。
(本文共有66页)。
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允许来源:2018年科技大学科学与技术硕士


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